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日本研制出超小型靜電懸浮微電機


作者:弘富泰公關部  來源:  發表時間:本站原創  點擊:274

    

    日本科學家最近開發出一種超小型靜電懸浮微電機,并計劃以該電機技術為基礎,開發超小型陀螺儀。新開發出的微電機,使靜電引力施加到回轉方向上,硅轉子則旋轉起來。玻璃板與硅轉子的間隔約為0.5微米,其具有檢測間隔的靜電容量的功能。按照這一變化,施加靜電引力進行硅轉子自身的姿態控制。通過運行結果表明,構件無磨擦,每分鐘旋轉1000次左右。按照間隔的靜電容量的檢測結果,也可以測定全方向的加速度。用于高精度的姿態控制和方位控制的回轉型陀螺儀,以往難以小型化,因而工作時耗電較多。而使用這種靜電懸浮微電機來制造旋轉型陀螺儀,以上問題迎刃而解。

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